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7nm已获专利!南大光电完成国家科技重大专项,芯片光刻胶已验收

admin2021-09-1448

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光刻胶是芯片制造【zao】不能或缺的主要质料,是光刻机举行硅膜片曝光、设计图案印章的焦点质料。作为海内光刻胶主要供应商的代表,南大光电在光刻胶领域中连续破冰。在美日半导体手艺垄断的靠山下,南大光电依旧完成了有关高「gao」端芯片质料手艺的突破。

我是柏柏说科技,资深半导体科技兴趣者。本‘ben’期为人人带来的是:南大光电适用于高端7纳米集成电路制造用ArF干式、浸没式光刻胶完“wan”成验收。南大光电肩负的“国家科技重大专项(02专项)项目”通过验收,将给国产半导体厂商带来怎样的改观。

老礼貌,直言不讳。2021年7月29日,南大光电官方宣布通告『gao』(下 xia[图):“关于公司肩负的国家科技重大专‘zhuan’项(02专项)”已通过专家组验收。其中包罗极大规【gui】模集成电路制造装备及成熟工艺、先进7纳米光刻胶产物开发与光刻胶供应链产业化。

据领会,南大光电承接的“de”“国{guo}家科技重大专项(02专项)”,其项目目的是:开发高端集成电路用高端制程光刻胶,建设一条具备大规模生产能力、拥有自主知识产权系统的生产链。确立一个能够与国际先进芯片质料接轨的手艺与治理人才团队。

值得一‘yi’提的是,适用于高端集成芯片制备,可 ke[用于7纳米芯片制造的ArF干式、浸没式光刻胶;南大光电乐成交付给专家组验证。有关于南大光电ArF光刻胶的更多信息,认真验收南大光电ArF光「guang」刻胶的专家组示意:南大光电在ArF干式、浸没式系‘xi’列光刻胶产物上,实现了从原质料制备到应用 yong[的自《zi》给化,有关光刻胶生产的配胶、剖析检测等手艺环节,南大光电也所有掌 zhang[握。

此外,有关光刻胶产物知识产权及相关人才的培育;南大光电内部形成了由51人组成的ArF光刻胶研发及生产治理团队。在光刻胶制品的质量把控及良品率调控上《shang》,南大光电乐成建成ArF光刻胶质量控制平台。现在南大光电已具备年产25吨光刻胶制品的能力,其中包罗5吨干式ArF光刻〖ke〗胶、20吨浸没式ArF光刻胶。

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弥补一点,专利方面;住手2021年,南大光电申请专利总计91项、海内发现专利有81项、国际发现专利4项、适用新型专利6项(已授权)、制订整体尺度3项、研制新产物2项。

南大光电完成7纳米光刻胶项目的攻破,将给我国的半导体行业以及南大光电自身带来怎样的影响呢?

对于国产半导体行业来说,南大光电7纳米光刻胶的交付,能够缓解我们在半导体领域中,稀奇是芯片代工领域中,被芯片质料卡脖子的难题。有助于加速我们在芯片代工领域中实现自给化目的的脚步。

ArF光刻胶质料是集成电路制造领域的要害质料,现在我国在ArF、KrF光刻胶领域中的市场占对照少,全球大多数的光刻胶【jiao】市场都被美国、日本垄断。作为一家国产企业,南大光电在美日半导体高频打压我国半导体行业的靠山下完成突破,为其产物增添了一份特殊的寄义。

无论是海内市场、照样产物竞争力,南大光电并不比外洋的光刻胶企业差,更况且「qie」南大光电已经完成了7纳米光刻胶的验证、交付。但有一点需要注重;有关7纳米ArF光刻胶的应用,南大光电现在只是小规模投产,与之相关的生产线正在构建当中。

有一说一,与信越化学等外洋光刻胶厂商相比,南大光电在生产效率、生产规模中处于晦气职位。若何增强自家产物的影响力、提高产物在光刻胶市场份额中的占比,对于南大光电来{lai}说是一场不小的挑战。但不管怎么说,这次南大光电完成7纳米光刻胶的验证,对于自〖zi〗身,对于国产半导体行业来说是一件好事情。

虽说南大光电现在只是实现了小批量的7纳米ArF光刻胶投产,但至少可以保证我们不会在〖zai〗光刻胶领域中被外洋彻底卡住。滴水穿石,信托只要坚持下去,一切难「nan」题都市迎刃而解。祝愿国产半导体厂商愈发壮大,在半导体领域中【zhong】早日掌握自动权。

对于南大光电完成7纳米光刻胶交付「fu」,ArF光刻胶通过“国家科技重大专项(02专项)验收”这件事情,大伙有什么想说的呢?眼下能够生产7纳米制程芯片的ArF光刻胶已交付,我们距离实现7纳米芯片自主量产的目的,另有多远呢?

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